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微机电系统设计详述

Oofelie::MEMS 的多物理场分析为您提供独特的分析微机电系统行为的能力。它结合了Oofelie Multiphysics 2010 中大部分强大的解算器,并且使用多种方法快速高效地实现您的微机电系统模拟。
使用Oofelie::MEMS :您方便地在集成模拟套装中得到微机电系统的核心物理现象。

微机电系统

梳妆驱动器的仿真结果。结果显示了,静电引力和不同电极之间产生的位移。

Oofelie::MEMS 为您提供完全耦合分析解。由于结构,热效应,流体,电场等之间的互相影响,任何微机电系统问题都会表现出或多或少的耦合行为。所以,通过耦合分析方法才能得到精确的预测。 Oofelie::MEMS 为您提供了内置的、同步的解算器,从而为强耦合问题提供了更好、更精确的解。 Oofelie::MEMS将带给您更低成本,更少的设计时间和更高质量。

如下所述,Oofelie::MEMS 所提出的许多种结果输出,通过与电子版设计软件相结合,让您保持连续的分析流程。

Key Features

Highlights
Design - Abilities
  • Statics
    • Linear and non-linear
  • Modal
  • Harmonic
  • Transient
    • Linear and non-linear
Applications
Publications

Micralyne: Advanced MEMS Platform for Optical Networks. Ooefelie Simulations vs measurements

Highlights

压电分析

压电分析,是一种先进的三维模型的分析方法,可用于各种工业应用,如交通运输(飞机,汽车)、设备(机械,电动机,音响系统),电子设备,生物医学和建筑行业等。

为了建立更精准的模型,我们的解充分考虑了机械和电场间的强耦合行为。

静电驱动

静电 分析模块主要用于静电驱动系统的建模。由于把常规有限元法(FEM)和边界元法(BEM)综合使用,所以此模块的应用非常灵活。 无限介质(infinite medium)这项技术在考虑无限元分析时非常有效。另外,在某些特定情况下,我们可以使用所发展的快速多极子计算 (FMM) 和边界元法(BEM)解决超大型静电问题。

热机械和焦耦合

Oofelie::MEMS 产品包含Oofelie::PyroPiezoElectric 产品的所有功能。它包含了热,机械和电场的强耦合问题分析程序。

欲了解更多信息,请查阅 Onera网页(法语)

流体阻尼

对于不是在真空环境中封装的微机电系统,处理周围流体介质是必须的。事实上,它会引起额外的 阻尼 作用,从而改变系统的动态行为。边界元法和Stocks流体不可压缩定律被实施以模拟阻尼效应。

Super Element Models (SEM) generation

得益于强耦合分析方法,模型压缩技术可准确而快速地生成可用于其他电子产品分析的模型。Oofelie包含了高效创新的压缩技术,它允许参数化多物理压缩模型完全与静态,模态,动态和谐波模拟相兼容。降价技术的使用可以明显的让您节省建模时间和降低存储的要求。此外,参数化建模法允许您重复使用组件和模拟一系列类似组件的功能,这可以让您加速产品的市场化进程。
Oofelie提供的这种压缩技术可应用于结构,热机械,压电和热压点模型。
由于使用了动态压缩的方法,压缩模型考虑到了模型的整体行为,包括刚度,惯性和阻尼效应。此外,所有的压缩模型变量都与输出输入量相对应。因此,在建立压缩模型时,激振方案不可事先定义。
使用VHDL-AMS 或 Verilog-A 交换格式,压缩模型也可以输出至系统模拟器。压缩模型也可以添加和连接多个RCC电路元素从而连接至在Oofelie::Mems中作电路建模。

Applications

双层镜像

这个例子是一个热驱动微镜像。此镜像是由两层不同热胀系数的材料构成。微电子系统经常采用热驱动模拟,因为系统的小波动就可能快速引发热激振。

静电驱动

静电作用在微机电系统中是非常重要的,因为它通常是最重要的作用力。例如, 吸附电压检测是MEMS模拟测检微机电系统设计稳定性的重要内容。