传感器和驱动器

压阻式压力传感器(左上图), 基于微机电系统的回转测试仪(右上图),
基于APA压电的驱动器(左下图), 基于微机电系统的流量传感器 (右下)

我们对驱动器的分析主要侧重于由于电力负荷所引起的机械反应。而对传感器的分析则侧重于相反的情况。加速度计和陀螺测试仪的谐波效应也包含在这些问题中。

传感器和驱动器的功能主要基于以下多种物理现象的组合

当元件越来越小时（如微机电系统),Oofelie可成为您模拟传感器设计的真正首选：元件的时间控制与元件尺度达到相同的量级。这要求强耦合模拟技术已为您提供最精确的收敛结果。

环形APA驱动器

环驱动器是由两个金属环和2个压电栈构成。电位通过中心金属片施加于2个压电栈。由于施加的电位，这两个压电栈将收缩并且诱导驱动器顶部的横向位移。这种类型的驱动器设计的主要目标是高精度定位。

微机械可变电容器被用于射频微机电系统，单片电压控制振动器，加速度计，陀螺仪和变容二极管。

如果您想对半导体元件进行结构-热-流体-电-光等场的耦合模拟，您需要把CADENCE virtuoso, Tanner EDA,和EEsof ADS等电子自动化工具相结合使用，因为这样就允许同时模拟电子元件中的所有部件。

压阻式半导体材料印在柔性膜结构上。当这种结构延伸的时候，其电阻改变。测量电路可以同内置的电子元件一起模拟。

Onera制造了对正交加速很敏感的单片石英传感器。这一感念通过解耦系统解耦，从而有效地与外部振动梁相分离。它允许最大化振动品质因数，这也是频率稳定所需要的。

整个装置-包括传感器模块都是由Oofeilie软件模拟的，因为它能建立所需要的压电-热-弹性强耦合模型。

当热弹性阻尼是空间（零重力）和真空应用的关键因素，谐振梁被压电所激活。同时，热应力影响频率的行为必须达到最小化。

欲了解更多，请参考 Onera网页 (法语)