Skip to main content
Multiphysics for designers / Applications / MEMS Applications examples
这个例子是一个热驱动微镜像。此镜像是由两层不同热胀系数的材料构成。微电子系统经常采用热驱动模拟，因为系统的小波动就可能快速引发热激振。
静电作用在微机电系统中是非常重要的，因为它通常是最重要的作用力。例如， 吸附电压检测是MEMS模拟测检微机电系统设计稳定性的重要内容。
